*將于12月11日在東京國際展覽中心舉行的“ SEMICON Japan 2019”上首次展出。

從化學濃度監(jiān)控器“ CS-900”的　
左側，顯示單元，傳感器單元　　
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發(fā)展背景

半導體制造過程中的化學處理是影響表面處理的均勻性并影響成品率的重要過程，因此需要對化學物質進行嚴格的管理。
傳統(tǒng)上，主要方法是將傳感器單元直接連接到化學溶液流經的管道，或將管道分支并測量化學濃度以將溶液發(fā)送到測量單元。然而，存在諸如化學物質污染，引入期間與管道的復雜連接工作以及化學物質泄漏等問題。這次，我們開發(fā)了一種傳感器單元，只需將??其放置在管道周圍即可安裝，從而實現非接觸式化學計量。這樣可以消除化學泄漏和污染，并提供安全穩(wěn)定的測量。另外，由于可以在不切割的情況下安裝管道，因此可以減少安裝的工作時間和工作量。HORIBA Advanced Techno的化學濃度監(jiān)測儀“ CS系列”將利用全球70％的市場份額，并進一步擴大銷售。
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產品特點

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  通過防止無污染的化學物質泄漏和由于非接觸式結構引起的污染，它通過安全穩(wěn)定的測量有助于提高產量并減少化學藥品的使用。
  
• 使用
  LED?延長光源的壽命使用?LED可以延長光源的壽命。
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• 實現高溫化學藥品（20°C到80°C）的穩(wěn)定測量。通過
  更新光學系統(tǒng)并改進計算處理，可以穩(wěn)定地測量對于尖端化學處理必不可少的高溫化學藥品。

<標準建議售價>?
600萬日元（不含稅）
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