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能量色散型和波長(zhǎng)色散型的特點(diǎn)

能量色散和波長(zhǎng)色散檢測(cè)方法各有其特點(diǎn)，必須根據(jù)應(yīng)用適當(dāng)選擇。

1.能量色散型能量
色散型不需要光譜學(xué)，半導(dǎo)體探測(cè)器可以直接分析熒光X射線(xiàn)的波長(zhǎng)，因此可以做得更小。此外，由于無(wú)需光譜分析即可同時(shí)進(jìn)行多種元素分析，因此可在短時(shí)間內(nèi)完成測(cè)量。由于無(wú)論樣品的形狀和凹凸如何都可以進(jìn)行測(cè)量，因此有時(shí)與電子顯微鏡結(jié)合使用。

另一方面，由于所得到的光譜的峰有時(shí)重疊，所以存在分辨率容易降低、難以檢測(cè)測(cè)定對(duì)象物中微量含有的元素的缺點(diǎn)。

2. 波長(zhǎng)色散
型 在波長(zhǎng)色散型中，熒光X射線(xiàn)被分析晶體分離并由檢測(cè)器測(cè)量。由于光譜是按波長(zhǎng)劃分的，因此很容易分離相鄰的峰，并且往往具有高靈敏度和高分辨率。

另一方面，由于其復(fù)雜的光譜系統(tǒng)，該設(shè)備本身往往較大且昂貴。另外，由于在改變衍射角的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量，因此測(cè)量時(shí)間比能量色散型長(zhǎng)，并且樣品表面必須光滑。