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什么是橢偏儀？

橢圓儀（英語：Ellipsometer）是一種利用光學(xué)特性以非接觸、非破壞性方式測量薄膜厚度和物質(zhì)光學(xué)常數(shù)的裝置。

在日語中，它被稱為橢圓偏振分析儀。通過將來自光源的光從某個角度照射到測量目標(biāo)上，用傳感器接收反射光并測量偏振狀態(tài)的變化來量化測量目標(biāo)的光學(xué)常數(shù)。

它通常被稱為橢圓偏振儀，但正確的名稱是光譜橢圓偏振儀。如果薄膜不透明或表面粗糙，無法充分反射光線，則無法進(jìn)行測量。