新品發(fā)售!面罩異物檢查裝置“PD Xpadion EX”
?株式會社堀場制作所（以下簡稱本公司）將于3月18日發(fā)售光罩/掩模異物檢查裝置“PD Xpadion EX”。
半導體制造曝光工序中不可或缺的PD系列異物檢查設備自1984年推出以來，根據客戶需求不斷發(fā)展，今年迎來了40周年。
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新產品“PD Xpadion EX”以流行的傳統型號“PD Xpadion”為基礎，
配備了異物清除功能，可以用一臺設備完成從檢測到清除的所有操作。
此外，我們還開發(fā)了一種支持自動掩模版/掩模傳輸的內部裝置，有助于提高半導體制造工藝的效率和產量。
半導體行業(yè)的分析、測量和控制需求正以前所未有的速度變得更加復雜和多樣化。
我們正在努力擴展“PD Xpadion EX”的功能，使其能夠執(zhí)行異物成分分析和薄膜*1膜厚度測量等一站式功能，未來我們將繼續(xù)呈現新的可能性。
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發(fā)展背景
在印刷半導體電路的曝光過程中，使用掩模版或掩模將電路轉移到晶圓上，掩模版是繪制電路的原始板。
光罩上附著的灰塵等異物會導致質量缺陷并降低成品率，因此需要使用異物檢查裝置。
2021年，我們推出“PD另一方面，為了去除檢測到的異物，需要去除標線或掩模并將其運送到另一臺設備。
該產品的開發(fā)是基于設備集成的廣泛要求，例如降低加工過程中異物粘附在產品上的風險、提高制造過程的效率以及減少安裝面積。
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產品特點
1. 通過集成異物檢測和清除流程提高工作效率和產量
本公司異物去除率超過95% *2的標線/掩模自動異物去除裝置“RP-1”的功能與“PD Xpadion”集成。
這使得自動檢測和清除異物成為可能。
它還配備了一個多端口，允許同時設置兩個裝有標線/掩模的盒子，從而可以連續(xù)檢測和清除異物。
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2. 通過與自動輸送設備聯動，促進制造過程的自動化和節(jié)省勞動力
半導體制造工廠中，為了與 OHT（Overhead Hoist Transport：一種自動輸送裝置，將輸送的物體保持在懸浮狀態(tài)，并在安裝在天花板上的軌道上運行）進行協調，需要 EFEM（設備前端模塊）。：我們開發(fā)了我們的 EFEM（設備前端模塊）。
自己的單元（在 OHT 和異物檢查設備之間傳輸掩模版/掩模）。
我們靈活地響應客戶的規(guī)格，為自動化和節(jié)省勞動力做出貢獻，這對于提高生產率、消除勞動力短缺和簡化制造領域非常重要。