フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。シリコンは最もよく使用されている半導(dǎo)體です。フォトルミネッセンス法は品質(zhì)管理に応用すぺく長年研究が行われてきました。1977年電子技術(shù)総合研究所の田島博士(現(xiàn)在：宇宙科學(xué)研究所)はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で評価する方法を開発されました。この方法によりシリコン中のB,P,Al,As 不純物がpptaオ一ダーで解析出來るようになりました。PL法によるシリコン中の不純物定量分析は、現(xiàn)在ではASTMとJISに登録されています。