便攜式DO監(jiān)測(cè)SD-300
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- 便攜式DO監(jiān)測(cè)SD-300
- HORIBA堀場(chǎng)
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概要
ポータブルで高感度だから、使いやすくて高性能
半導(dǎo)體分野における超純水中のDO濃度の高精度測(cè)定?モニタを?qū)g現(xiàn)
半導(dǎo)體の集積度が増加する傾向から、ウエハの洗浄に用いられる超純水の水質(zhì)向上が求められています。中でも、超純水に含まれる微量な溶存酸素(DO)はウエハ表面の酸化膜形成の要因といわれ、その低減要望が非常に強(qiáng)くなってきています。そこでHORIBAは超純水中のDO濃度を高精度?高速に測(cè)定するDO モニタSD-300を開(kāi)発。高感度シリカモニタやパーティクルセンサとともにお使いいただける、超純水製造ラインでの水質(zhì)モニタリングに最適な製品です。またポータブルサイズで持ち運(yùn)びやすいため、どのような現(xiàn)場(chǎng)にもフィットします。
特長(zhǎng)
- どんな現(xiàn)場(chǎng)でも使いやすいポータブルサイズ
小型、ポータブル。持ち運(yùn)びやすいデザインです。 - ワイドレンジで、かつ高感度な測(cè)定を?qū)g現(xiàn)
測(cè)定レンジは、0?20μg/L、0?200μg/L、0?2mg/L、0?20mg/Lの4レンジから選択できます。 - 高速?gòu)甏黏驅(qū)g現(xiàn)
- フラットパネルを採(cǎi)用し、クリーンルーム內(nèi)の使用にも最適
- センサは內(nèi)部液交換タイプで長(zhǎng)壽命
- アナログ?シリアル出力を標(biāo)準(zhǔn)裝備
仕様
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測(cè)定対象 |
溶存酸素 |
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|---|---|---|
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測(cè)定方式 |
隔膜型ポーラログラフ式 |
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測(cè)定レンジ |
0?20μg/L , 0?200μg/L , 0?2mg/L , 0?20mg/L |
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応答速度 |
30s/90%(試料水溫度20℃以上において) |
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繰返し性 |
フルスケールの±1% |
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溫度補(bǔ)償範(fàn)囲 |
5?50℃ |
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試料水條件 |
溫度 |
2?50℃ |
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圧力 |
0.02?0.2MPa |
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流量 |
0.2?0.4L/min |
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外部出力 |
アナログ出力 |
DC 4?20mA または DC 0?16mA 絶縁型出力 負(fù)荷抵抗 最大500Ω |
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接點(diǎn)出力 |
A接點(diǎn)出力 接點(diǎn)容量 DC24V, 0.1A |
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シリアル出力 |
RS-232C 1方向出力 |
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校正方法 |
ゼロ |
簡(jiǎn)易ゼロ校正またはゼロ液による校正 |
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スパン |
大気校正 |
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周?chē)鞙囟?濕度 |
0?45℃、85%以下 |
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電源 |
AC 100V ±15%, 50/60Hz (AC 264Vまで可能) |
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消費(fèi)電力 |
約50VA (AC 100Vの場(chǎng)合) |
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外形寸法 |
296(W)×110(H)×258(D) mm(操作部のみ) |
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質(zhì)量 |
約3.4kg(操作部のみ) |
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操作部−センサ間 延長(zhǎng)ケーブル長(zhǎng) |
5m(標(biāo)準(zhǔn)), 10m(オプション) |
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